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断面研磨・EDX分析

使用試験・分析装置

断面研磨装置

断面研磨装置

クロスセクションポリッシャ[イオンミリング](IM-3000)

クロスセクションポリッシャ[イオンミリング](IM-3000)

電子顕微鏡[FE-SEM+EDX](S-4800)

電子顕微鏡[FE-SEM+EDX](S-4800)

事例

・メッキ観察
・はんだ接合観察
・微細構造観察
・Chip構造観察(Bump、ビア等)
・不良箇所元素分析
・EDX元素マッピング
・EDXライン分析

元素マッピング分析例
はんだボール部断面

断面研磨・EDX分析のフロー

断面研磨・EDX分析のフロー

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